機械泵并不能獲得較高的真空度，要獲得更高的真空度，可采用擴散泵，并與機械泵構成高真空機組。機械泵作為擴散泵的前置泵，高真空機組的工作真空度可達10-2-10-5Pa。擴散泵工作時，內有高速流動的蒸汽流，被抽氣體擴散到蒸汽流中，然后被蒸汽流帶往排氣口，達到抽氣的目的，因此擴散泵又稱為蒸氣射流泵。蒸氣流由工作介質油經過加熱產生，這種利用油作為工作介質的擴散泵叫做油擴散泵。

 

      油擴散泵上部為進氣口，通過主閥門與真空爐腔相連，右下方是與前級泵連接的出氣口，底部儲有擴散泵油的蒸發室，中間是帶有導流管的傘形噴嘴，金屬外殼周圍安裝有冷卻水管，擴散泵油靠蒸發室下面的電爐加熱。

 

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